對于三坐標測量機的光柵計數系統，多數廠家采用的是兩種結構。一種是直接將光柵尺粘貼在三個軸的導軌材料上。另一種是采用光柵尺基座，將基座粘貼在三個軸的導軌上，再將光柵尺裝人光柵尺的基座中。
對于直接將光柵尺粘貼在導軌上的三坐標來說，溫度對其的影響要考慮兩方面的因素：一是導軌材料受溫度的影響，二是光柵尺本身的變化。此時，如果使用溫度補償功能的話，要在導軌材料和光棚尺兩種材料的線性膨脹中選擇一個合適的值來確定。
對于使用光柵尺基座的計數系統來說，一種是兩端預緊的，一種是一段固定的。對于兩端預緊的系統來說，仍然要考慮導軌材料和光柵尺兩種材料的熱膨脹。對于一段固定的，可以只考慮光柵尺本身的線性膨脹。